針對航天器自主軌道控制任務對加速度計小量程、高穩定性的應用需求,提出了一種基于靜電力平衡的石英撓性加速度計方案.基于整體系統結構分析,建立了表頭的結構模型并設計了靜電力反饋式的閉環控制系統.通過在控制系統中引入電阻尼補償環節,避免系統在表頭諧振頻率處振蕩,同時構建基于PID控制的校正網絡來提高系統的動態特性.對閉環控制系統進行分析,優化結構參數使其具有較高穩定性.通過實驗對加速度計性能指標進行了標定.實驗結果表明:研制的靜電力平衡式石英撓性加速度計的量程為±0. 12 gsrj型石英撓性加速度計,零偏穩定性達到1. 51μg.石英加速度計主要由表頭、激振電路和測頻電路等組成。其中表頭由阻尼板、金屬擺、力敏感石英梁組成。具有量程大、精度高、抗過載性強、體積小、功耗低、價格廉等特點。

物理特性

尺寸:

φ25.4×30 mm

重量

<80 g

工作性能:

量程

± 15 g

分辨率

50μg

零偏

≤|±15|mg

電流標度因數

2.9±0.5 mA/g

0g 2h 穩定性

≤150μg

1g 2h 穩定性

≤150μg

零偏溫度系數

≤|±150|μg/℃

標度因數溫度系數

≤|±150| ppm/℃

噪聲(負載840Ω)

≤|±10|mv

電氣特性;

工作電壓范圍

|±12|～|±15|V

工作電流

≤|±20| mA

使用環境；

工作溫度范圍

-40℃ ~ +120℃

存儲溫度范圍

-50℃ ~ +125℃

振動

20g (20~2000Hz)

沖擊

1000g, 0.5ms, 1/2sin

加速度計，是測量運載體線加速度的儀表。加速度計是以加速度的觀點來測量物體運動的傳感器石英撓性加速度計廠家。加速度計所測量的加速度包括一般性物體的移動速度變化（直線加速度）、物體的低頻晃動、高頻振動等。因此，從檢測重力等靜態加速度的加速計到10KHz高頻響應加速度計，加速度計的種類敏多。加速度計 正如其名字所暗示的那樣，位測量加速度。加速度可以測量 +2g到-2g之間的加速度。Micro：bit沿著三個軸測量運動： X - 從左向右傾斜。

加速傳感器顧名思義就是一種能夠測量出產品加速度的一種設備。生活中我們一般常用的主要是兩種加速度計，分別是角加速度計和線加速度計。英撓性加速度計結構鐵由溫度系數低，導磁性能好的軟磁材料組成。磁鋼采用導磁性能比較良好的AL-Ni-Co8永磁材料，用無心磨床加工。撓的材料為溫度性能的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學腐蝕方法；也可以采用反應離子蝕刻工藝加工整個撓，但造價很高。石英撓性加速度計價格是具有先進水平的新型傳感器，它精度高、長期穩定性好、小型化。對加速度、速度、距離、搖擺、振動、傾斜等物理量敏感、測量、控制方面的換代產品。

石英撓性加速度傳感器一般為單軸力矩反饋式加速度計，通過檢測質量來檢測外界的加速度信號，再經伺服電路解調、放大，輸出電流信號正比于加速度信號。石英撓性加速度傳感器為單軸力矩反饋式加速度計，通過檢測質量來檢測外界的加速度信號，再經伺服電路解調、放大，在輸出電流信號正比于加速度信號。石英撓性加速度計價格廣泛用于航空航天導航系統、慣性導航、航海定位、飛行姿態控制或地質勘探捷聯系統。石英撓性加速度傳感器的性能指標；測量精度高，重復性佳，可靠性高體積小，重量輕寬壓供電，功耗低。